一种MEMS磁驱动器的设计与研究开题报告

1. 研究目的与意义

背景：近年来，研究者们提出一种与标准cmos工艺兼容的新型三维电磁感应线圈结构。模拟仿真结果显示这种节能电感的局部效率超过80%传统电感。

目的：对目前最具吸引力的磁驱动器的总体结构、加工工艺进行设计，并对所设计的磁驱动器的性能进行模拟分析

意义：目前主流的面上结构螺旋电感器，由于其具有与标准cmos工艺兼容的生产流程与标准的兼容性cmos技术，螺旋电感器广泛应用于射频集成电路设计。但是，面上结构螺旋电感器缺点在于极低的品质因数(q)和低效的芯片面积效率。为了提高螺旋电感器的品质因数，增加芯片的使用效率，设计一种三维立体结构的磁驱动器具有十分重要的经济价值。

2. 研究内容和预期目标

研究内容：磁驱动器是MEMS驱动技术应用的一个重要领域之一。本文以目前最具吸引力的磁驱动器作为研究对象，对其总体结构、加工工艺进行设计，并对所设计得磁驱动器的性能进行模拟分析。

预期目标：

提出一种新的三维螺旋电感结构相结合的优势上面的工作,从而使他们的缺点最小化。我们展示了一个局部高效,高共振频率三维一片式电感结构。这结构与标准CMOS工艺兼容因此有望成为用于系统集成

3. 研究的方法与步骤

11. 电感结构的理论分析

22．cmos兼容螺线管电感器的设计。

33. 后微机械加工

4. 参考文献

1. 李黎明，ansys有限元分析实用教程[m]，北京：清华大学出版社，2005: 233-254

2. 黄继昌，徐巧鱼，张海贵，传感器工作原理及应用实例[m]，北京：人民邮电出版社，1998:160

3. powell a r, row land l b. sic materials-progress, dtatus, and potential toadblocks[j]. proceedings of the ieee, 2002, 90(6): 942-955

5. 计划与进度安排

1. 2—3周（2022年2月29日-2022年3月13日）：学生完成开题报告

2. 4—13周（2022年3月14日-2022年5月20日）：毕业论文写作

3. 9—10周（2022年4月18日-2022年4月29日）：学生汇报课题进展情况，回答教师提问。