基于WO3薄膜的氢气传感器研究开题报告

1. 研究目的与意义

1.1背景：目前氧化物型氢敏材料都是用化学方法制备的，在批量生产过程中存在传感器性能差别较大成品率低等缺陷。此外，氧化物敏感薄膜的电信号在遇到氢气时容易饱和，无法探测高浓度氢气。

1.2目的：本项目拟利用磁控溅射制备WO薄膜，研究WO薄膜晶粒尺寸、氧含量等参数对其氢敏性能的影响。

2. 研究内容和预期目标

2.1研究内容主要包含以下部分：

（1）wo₃薄膜的制备

（2）wo₃薄膜厚度和沉积速率表征

3. 研究的方法与步骤

3.1研究方法：

周期性纳米结构使用力学方法制备，wo薄膜沉积使用直流溅射沉积，使用afm和台阶仪表征材料的形貌和衬底的结合结构，使用xrd表征wo薄膜的晶体结构，使用sem表征纳米凸凹结构和wo薄膜的表面形貌，使用自建氢气传感器测试和演示装置表征和演示氢敏性能。

3.2研究步骤：

4. 参考文献

[1]korotcenkov g, cho b k. instability of metal oxide-basedconductometric gas sensors and approaches to stability improvement[j]. sensactuators b: chem, 2011, 156 : 527-538

[2]korotcenkov g. gas response control through structural andchemical modification of metal oxide films: state of the art and approaches[j].sens actuators b: chem 2005 107 : 209-232

[3]barsan n, koziej d, weimar u. metal oxide-based gas sensorresearch: how to?[j], sens actuators b: chem 2007 121 : 18-35

5. 计划与进度安排

1.1. 2022年3月1日-3月5日，下发毕业论文任务书，学生了解所选论题的状况和要求。

2.2022年3月1日-3月12日，学生提交开题报告等材料（开题报告、外文翻译等），指导教师审核开题报告。

3.2022年3月15日-6月4日，毕业论文写作，学生按开题报告撰写论文。