1. 研究目的与意义
氧化铝薄膜是一种重要的光学介质薄膜材料，具有优异的光学性能，钝化性能和机械性能等。
在微电子、光电器件和材料表面改性等领域都有广泛应用。
本论文调研氧化铝薄膜的具体应用和制备方法，并利用溅射法制备出氧化铝薄膜和测试相关性能。
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2. 研究内容和预期目标
氧化铝薄膜的具体应用和制备方法，并利用溅射法制备出氧化铝薄膜和测试相关性能。
3. 研究的方法与步骤
1.通过调研了解氧化铝薄膜的制备方法和应用情况； 2.学习离子束溅射和磁控溅射法制备薄膜材料的原理和相关设备的应用； 3.对制备的氧化铝薄膜材料进行性能测试，分析得到的结果。
4. 参考文献
1.半导体物理学，刘恩科等，西安交通大学出版社，1998年10月第1版。
2.半导体制造技术，~ michael quirk (作者), julian serda (作者), 海潮和 (合著者), 徐秋霞 (合著者), 等 (合著者), 韩郑生 (译者)电子工业出版社; 第1版 ，2009年。
3.刘永杰, 刘忆, 董闯, 等. al2o3薄膜的应用与制备[j]. 真空与低温, 2002, 8(4): 236-240. 4.唐秀凤, 罗发, 周万城等. 直流反应磁控溅射制备氧化铝薄膜[j]. 热加工工艺, 2011, 40(14):120-123.
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5. 计划与进度安排
第七学期 2022.12.25 与学生见面，介绍毕业设计总体情况，布置查阅文献资料任务；
1周： 2022年3月2日-3月6日 下达毕业论文任务书，再次向学生讲授所选设计题目的状况和要求等；
23周： 2022年3月9日-3月20日 学生完成开题报告 指导教师修改和审定学生论文开题报告；
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