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1. 研究目的与意义（文献综述）
1.1课题研究的目的及意义
麦克风是一种将声音信号转换为电信号的能量转换器件，根据其声电转换原理可划分为压阻式麦克风、电容式麦克风、压电式麦克风和光学麦克风等。
常见的商用麦克风类型有电容式麦克风、压电式麦克风以及动圈式麦克风。电容式麦克风使用的能量源有两种：直流偏置电源和驻极体薄膜。电容式麦克风利用极板的震动改变极板间的距离，从而改变了电容，使电路中产生电流，将声音信号转变为电信号；压电式麦克风是利用压电材料的正压电效应，声音带动压电薄膜产生不同程度的应变，从而产生一个与应力应变成正比的电压信号，将声音信号转变为电信号；动圈式麦克风利用电磁感应原理，声音的震动带动磁场中线圈震动，从而切割磁感线，产生感应电流，将声音信号转变为电流信号。
2. 研究的基本内容与方案
2.1课题研究内容及目标
新型压电式mems麦克风还具有防水、防尘、超低功耗等特点，正在一步步颠覆传统的电容式mems麦克风产业。因此本课题将认真学习国内外对于压电式mems麦克风的优秀研究，并在此基础上开展对提高压电式mems麦克风性能的研究，具体研究内容如下：
（1）首先，根据相关文献和研究报告，分析压电式mems麦克风的合理工作方式，以及影响压电式mems麦克风性能的主要因素。
3. 研究计划与安排
（1）第1-3周
收集与课题相关的国内外文献，了解课题研究内容，确定研究方案，撰写开题报告；
（2）第4-6周
4. 参考文献（12篇以上）
[1]scheeperp r,van der donk a g h,olthuis w,et a1.a review of silicon microphone[j].sensorand actuators a,1994,44(1):1-11.
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