ＭＥＭＳ压阻式加速度传感器的设计开题报告

1. 研究目的与意义

1）研究背景：加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。传感器在加速过程中，通过对质量块所受惯性力的测量，利用牛顿第二定律获得加速度值。根据传感器敏感元件的不同，常见的加速度传感器包括电容式、电感式、应变式、压阻式、压电式等。

压阻式传感器基于世界领先的mems硅微加工技术。压阻式加速度传感器具有体积小、低功耗等特点，易于集成在各种模拟和数字电路中，广泛应用于汽车碰撞实验、测试仪器、设备振动监测等领域。

2）目的：要求设计一种基于mems工艺的压阻式三轴加速度传感器，提高传统单轴传感器灵敏度的同时保证低轴间耦合度。所设计传感器能够进行三维加速度的测量。传感器具有一定的抗过载能力。

2. 研究内容和预期目标

（1）、所设计传感器能够进行三维加速度的测量

（2）、传感器具有一定的抗过载能力

（3）、压敏电阻布放合理，传感器灵敏度高

3. 研究的方法与步骤

1.了解mems加速度传感器的工作原理和研究现况

2.设计单轴方向的加速度传感器的结构，并分析可行性

3.将分别测量三轴方向的加速度传感器组合放置，进行实验模拟

4. 参考文献

[1] 陈尚，薛晨阳，张文栋，等．压阻式硅微二维加速度计的加工与测试［Ｊ］．纳米技术与精密工程，２００８，６（４）：２７２－２７７．

[2] 王小燕．三维加速度传感器优化设计及静动态特性研究［Ｄ］．安徽：安徽理工大学，２００８．

[3] 王大军，李淮江．一种基于ＭＥＭＳ技术的压力传感器芯片设计［Ｊ］．吉林师范大学学报，２０１１，２（２）：１３３－１３６．

5. 计划与进度安排

1. 2022-2-25～2022-3-15 查阅资料，撰写开题报告和翻译外文资料；

2. 2022-3-16～2022-4-16 学习mems压阻式加速度传感器基本知识，完成传感器结构设计；

3. 2022-4-17～2022-5-16 设计压敏电阻位置布放及惠斯通电桥连接，计算传感器灵敏度和轴间耦合度；