MEMS面内大量程加速度传感器设计开题报告

1. 研究目的与意义

1.研究背景

针对目前导弹引信等武器系统领域对大量程加速度传感器的迫切需求，本毕业设计要求设计一种测量平面内加速度的大量程压阻式加速度传感器。该传感器可采用双端固支梁－质量块结构或其它结构，可有效消除敏感轴轴间的交叉干扰，提高了测量精度。

2.研究目的

2. 研究内容和预期目标

1.主要研究内容

针对目前导弹引信等武器系统领域对大量程加速度传感器的迫切需求，设计一种测量平面内加速度的大量程压阻式加速度传感器。该传感器可采用双端固支梁－质量块结构或其它结构，可有效消除敏感轴轴间的交叉干扰，提高测量精度。

3. 研究的方法与步骤

1.结构分析设计

简化模型分析

固有频率分析

4. 参考文献

[1] 许高斌，汪祖民，陈兴． soi 特种高g 值mems 加速度计设计与分析［j］． 电子测量与仪器学报， 2010，24( 6) : 561－568．

[2] 董培涛，周伟，李昕欣，等． 三梁－质量块敏感结构高性能压阻式碰撞加速度计［j］． 传感技术学报，2007，20( 8) : 1752－1756．

[3] 王大军，李淮江．一种基于ＭＥＭＳ技术的压力传感器芯片设计［Ｊ］．吉林师范大学学报，２０１１，２（２）：１３３－１３６．

5. 计划与进度安排

1.2022-2-25～2022-3-15 查阅资料，撰写开题报告和翻译外文资料；

2.2022-3-16～2022-4-16 学习mems面内大量程加速度传感器基本知识，采用matlab和ansys进行仿真分析，完成传感器结构设计；

3.2022-4-17～2022-5-16 设计压敏电阻位置布放及惠斯通电桥连接，分析传感器灵敏度；