曝光机高精度静压气浮双驱动同步系统研究开题报告

全文总字数：5512字

1. 研究目的与意义（文献综述）

1.研究目的与意义

（1）研究目的：

曝光机的应用范围很广，主要有半导体、生物器件、微电子和纳米科技等领域。高性能的精密运动平台在曝光机中尤为关键, 同时，曝光机对运动系统的定位精度、负载能力、响应速度、跟踪精度等指标要求很高。因此，高精度静压气浮双驱动同步系统因其高的定位精度而被应用于曝光机中。但是，在实际应用过程中，曝光机的运动精度往往达不到要求，主要原因有：曝光机运动平台的组件不是对称结构；在制造与安装过程中会存在误差；工作过程中存在的其他不确定性扰动等因素（例如摩擦扰动、负载阻力扰动等）的影响。

2. 研究的基本内容与方案

1.研究基本内容

（1）静压气浮支撑基本结构形式

针对曝光机精度要求高，对目前国内外常用的现有工作台进行分析，提出应用气浮支撑模式。同时对确定并合理选择工作台结构设计，包括花岗石平台、气浮导轨、导轨支座、直线电机、光栅尺布置等进行分析研究。

3. 研究计划与安排

2020年2月：完成项目调研和开题报告；

2020年3月：完成静压气浮结构优化和参数优化；

2020年4月：实现双驱同步模式；

4. 参考文献（12篇以上）

[1] 李陆军，张鸣，胡金春，朱煜. 平面静压气浮轴承垂直微冲击的稳定性[j].清华大学学报（自然科学版）, 2011年 第51卷 第6期.

[2] yazhe li，kai zhou , zhen zhang .a flow-difference feedback iteration method and its application to high-speed aerostatic journal bearings[j]. tribology international 84 (2015) ,132–141.

[3] k. erkorkmaz , j.m. gorniak, d.j. gordon.precision machine tool x–y stage utilizing a planar air bearing arrangement[j]. cirp annals - manufacturing technology 59(2010) ,425–428.