微机电系统悬臂梁非线性挠度分析开题报告

全文总字数：4950字

1. 研究目的与意义（文献综述）

1.1课题背景

微机电系统（mems，micro electro-mechanical system）是将微型传感器、信号处理器、控制电路集合成一体的微型器件或者系统，是微机械与微电子的有机结合[1] 。微机电系统外形尺寸通常在亚微米级别和微米级别之间，是微观层次的技术。微机电系统可以应用到汽车工业、生物医学、国防军事、智能机器人等诸多领域上，并且具备智能化特点[2]。微机电系统（mems）是多门学科交叉的产物，因为其拥有着微型化、集成化等诸多优点，自80年代崛起以来发展迅速，成为继微电子技术之后又一个对国民经济和军事实力具备重大影响的技术领域，是21世纪全新的国民经济增长点以及提高军事实力的全新技术支撑。在微机电系统中，微梁结构是最基础的结构。其微结构尺寸达到微米量级后，将会出现一定尺寸效应，许多物理现像表现出与块状结构不同的特性。因此对微悬臂梁的尺寸效应研究对于微机电传感器系统的设计开发具有重大的意义。

2. 研究的基本内容与方案

3. 研究计划与安排

第1周：熟悉课题，查阅搜集微机电系统和微悬臂梁形变相关资料；

第2周：查阅外文文献，并开始着手翻译；

第3周：整理资料，完成资料翻译工作，撰写开题报告初稿；

4. 参考文献（12篇以上）

[1] 苑伟政 等.微机电系统[m],西北大学出版社，2011.

[2] 张旭，李春雨.微机电系统（mems）的简介及应用[j].科技经济导刊，2019,27（22）:43.

[3] 尤政.智能传感器技术的研究进展及应用展望[n].科技导报，2016,34（37）:72-78.