1. 研究目的与意义(文献综述包含参考文献)
一、课题研究背景及意义气体已渗透工业、农业、航天、微电子行业等各个领域中,每个行业对气体纯度都有不同程度的需求。
湿度是气体各项指标中一个重要参数,直接关系到生产安全和产品质量。
虽然湿度的测定方法相对于其它杂质含量的测量起步较晚,且容易受压强、温度等多种因素影响,是最难准确定量的技术参数,但气体中水分含量确是各个行业要求特别苛刻和关键的指标参数,因此湿度测量是有必要的。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
一.课题研究内容本课题主要设计一种陶瓷氧化铝材料的电容传感器测量,并将其用于低湿气体检测场合(单位:露点温度),要求实现-80~20℃露点范围的测量。
基本原理为陶瓷氧化铝电容传感器感应到气体中水分含量,测量系统采集电容变化,并利用湿度、压力与露点的状态关系,建立电容值与露点的对应曲线,将露点值以4~20ma的标准信号形式变送输出。
其难点在于低湿检测环境下,电容值较小,变化量小,为了精确捕捉到电容值的微弱变化,需要设计合理可行微小电容变化的检测电路;采用转换芯片或利用典型运放做恒流源,实现两线制的电流输出,要求设计低功耗的电子电路。
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