介质阻挡放电电气及温度效应诊断开题报告

1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

1. 概述：

等离子体是除固、液、气三态以外的物质存在的第四种状态，等离子体可以分为高温等离子体和低温等离子体。前者是完全电离的,气体温度高( ),如太阳等恒星和原子弹、氢弹爆炸产生的等离子体;后者是部分电离的,气体温度低( )。低温等离子体又可以分为热等离子体(如电弧)和冷等离子体(又称非平衡等离子体,如日光灯和霓虹灯等)。热等离子体中电子和离子温度近似相等,而非平衡等离子体中电子和离子温度相差很大,电子温度很高(可以高达 以上),离子温度很低(一般小于1000k,甚至接近常温)。冷等离子体是一种部分局部热力学平衡（p-lte）等离子体 ，它的突出特点是电子温度高达数万度以上，而其中的中性粒子、离子的平动、转动温度一般却接近于室温，这也是冷等离子体名称的由来。一方面其中的电子具有足够高的能量使反应物分子激发、离解和电离，另一方面，整个反应体系又得以保持低温，这样降低了对设备的要求，节约了能源且实验条件也容易实现，使应用范围更广，具有其他方法无可比拟的优越性，从而在微电子科学 、环境科学 、材料科学 、化学合成 等领域具有越来越广泛的应用。而低温等离子体由于温度、压力等条件容易实现并且在工业应用上设备投入成本较低因而低温等离子体的诊断等技术得到越来越多的关注和研究。而介质阻挡放电（dielectric barrier discharge，简称dbd）是产生低温等离子体的重要手段。

2.dbd放电机理：

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

1.本课题要研究或解决的问题

建立了电极结构、电源类型、气体成分光谱特性研究的实验平台，p并研究了各影响因素对dbd光谱特性的影响。

1) 在掌握气体放电机理的基础上，分析介质阻挡放电的放电特性、机理及其影响因素。