1. 研究目的与意义(文献综述)
1.1研究目的
理解谐振式微质量传感器的工作原理,了解几种典型谐振式微质量传感器的结构和探测性能,用数学计算的方法分析在不同的结构参数下,传感器的谐振频率随探测物质量的变化的关系,并最终从理论上给出一种谐振式微质量传感器的设计参数。
1.2研究意义
2. 研究的基本内容与方案
2.1基本内容、目标:
对于微质量传感器而言,高灵敏度是非常必要的。本文将从悬臂梁谐振式微质量传感器的工作原理入手,研究几种典型的谐振式微质量传感器的结构、设计参数和探测性能,并利用数学计算方法确定结构参数与材料性能对传感器探测性能的影响,最终找到各结构的谐振频率变化与待测物质量变化量的关系。根据前面的数学计算,设计出一种灵敏度可达约40×103hz/g的谐振式微质量传感器。
2.2拟采用的技术及措施:
3. 研究计划与安排
第1-3周:查阅相关文献资料,明确研究的内容和目标,了解谐振式微质量传感器的发展现状和基本原理,并总结出几种典型的谐振式微质量传感器结构。确定方案,完成开题报告。
第4-8周:完成英文文献翻译,进一步完善研究目标,理解谐振式微质量传感器的工作机理。分析对比几种典型的谐振式微质量传感器的工作原理与探测性能,用软件仿真出几种微质量传感器的灵敏度随微悬梁结构参数(如长度,厚度等)的变化,并明确自己打算设计的一种传感器结构。
第9-14周:完成谐振式微质量传感器的理论设计,并利用数学计算分析其工作性能;
4. 参考文献(12篇以上)
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