基于VR技术的微纳加工技术开发开题报告

1. 研究目的与意义

1.1 研究背景1992年美国国家科学基金资助的交互式系统项目工作组的报告中对vr提出了较系统的论述，并确定和建议了未来虚拟现实环境领域的研究方向。

可以认为，虚拟现实技术综合了计算机图形技术、计算机仿真技术、传感器技术、显示技术等多种科学技术，它在多维信息空间上创建一个虚拟信息环境，能使用户具有身临其境的沉浸感，具有与环境完善的交互作用能力，并有助于启发构思。

所以说，沉浸-交互-构想是vr环境系统的三个基本特性。

2. 研究内容和预期目标

2.1研究内容

（1） 掌握微纳加工工艺。

充分了解微纳加工的研究背景、技术特点和设备工作原理。学习使用 l-edit 软件绘制光刻图形，学习微纳加工中一些常见设备的使用，掌握光刻加工中的各种工艺操作，对微小图形加工中常出现的问题有一定的了解。

3. 研究的方法与步骤

3.1 研究方法（1）查阅相关资料和文献，了解国内外的方案，了解nikon-i12步进光刻机为光刻工艺的进行做好充分准备。

（2）查阅相关资料和文献，了解vr的发展及应用方向，了解其编程的语言。

（3）学习3dmaxs绘图软件的使用及其在nikon-i12步进光刻机的绘图方法和难点。

4. 参考文献

[1] 张汝京. 纳米集成电路制造工艺.清华大学出版社 2014-07-01[2] 韩郑声. 芯片制造——半导体工艺制程实用教程.中国工信出版集团 电子工业出版社. 2015-01-15[3]胡超. 高精度电子束光刻技术在微纳加工中的应用.电子与封装. 2016-11-28[4] 章城. 基于光学光刻技术的PDMS微纳敏感结构薄膜加工工艺研究. 温州大学浙江省激光加工机器人重点实验室. 2020-06-15.[5] 程建瑞. ASML扫描机与NIKON步进机的匹配技术. 上海微高精密机械工程有限公司. 2014-06-20.[6] 张凤军. 虚拟现实的人机交互综述. 中国科学院软件研究所人机交互北京市重点实验室. 2016-12-20.[7] 周忠. 虚拟现实增强技术综述. 北京航空航天大学虚拟现实技术与系统国家重点实验室. 2015-02-20.[8] DeRose, G.A.; Lin Zhu; Poon, J.K.S.; Yariv, A.; Scherer, A. Electron-Beam Lithography Techniques for Micro- and Nano-scale Surface Structure Current Injection Lasers. 2007-06-15.[9] Umezaki Ryohei.; Murata Junji.; Electrochemical imprint lithography on Si surface using a patterned polymer electrolyte membrane. Department of Mechanical Engineering, Graduate School of Science and Engineering, Ritsumeikan University. 2020-12-09.[10] Sodeifian, Gholamhossein；Sajadian, Seyed Ali Experimental measurement and thermodynamic modeling of Lansoprazole solubility in supercritical carbon dioxide: Fluid Phase Equilibria. 2020-06-15.

5. 计划与进度安排

3.1--3.10 课题调研，了解相关技术和要求；3.11--3.20 查阅资料，撰写并提交开题报告；3.20--4.15 完成毕业论文中期检查4.16--5.1 完成毕业论文初稿5.1--5.15 完成毕业论文英文翻译 5.16--5.20 完成毕业论文终稿5.21--5.25 完成毕业论文格式修订工作5.26--6.1 完成毕业论文预答辩6.1--6.5 毕业论文答辩