表面磁场分布对磁控管放电特性的影响开题报告-开题报告网

1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文献综述

表面磁场分布对磁控管放电的影响

1.前言

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1.本次毕业设计的内容

1在微弧离子镀环境下，以镀纯金属Ti为例，研究磁场分布对磁控管放电特性的影响。

2通过对改变磁场分布，模拟画出磁场分布图

3得到伏安特性曲线，研究磁场分布对镀料粒子产生方式的影响

4通过对镀层微观结构与性能的检测，揭示磁场分布对镀层的影响。

5查阅磁控溅射磁场分布对镀层影响相关文献，要求学习并掌握利用中国期刊网，CA、EI、Elsevier等查阅文献，不少于15篇。

2.本次毕业设计的要求

1.在不同的磁场分布条件下，画出磁控管磁场分布一维及三维图；

2.作出不同磁场分布下，伏安特性曲线；

3.分析磁场分布对镀层微观结构与性能的影响。

3.实验计划：

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