甲烷增强对类石墨镀层沉积过程的影响研究开题报告

 2021-08-14 18:20:19

1. 研究目的与意义(文献综述包含参考文献)

根据对相关文献的学习了解,对课题情况有了一定的了解,撰写了一篇文献综述。

对课题的背景,研究现状,应用和发展,目前存在的问题和对应的解决方法做了一定的介绍。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

通入气态甲烷与固态碳靶共同沉积,甲烷的加入时间与流量对固态碳靶沉积过程的影响,以及对基体材料沉积过程中,镀层内部结构的变化,探究镀层性能的影响。

通过摩擦磨损实验台,划痕仪,显微硬度计等来评价成分梯度对类石墨镀层力学性能的影响。

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