1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）
1.选题背景真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。
真空镀膜技术[1]是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。
因此真空镀膜技术[2]被誉为最具发展前途的重要技术之一，并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
2.1要研究或解决的问题沉积室的设计与高真空获得2.2研究手段利用油扩散泵和机械泵两级真空泵获得高真空，通过低熔点物质的蒸发，测试和检验镀膜仪的性能。
遵循真空设备设计原理：（1）先功能，后结构。
先给出指标参数、生产要求、功能。
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