1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）
根据普朗克黑体辐射定律,一切物体在高于绝对零度时都会以电磁波的形式向外辐射能量，其中波长在0.76-1000 μm的辐射属于红外辐射。
红外光谱调控在传感器，隐身[1]等领域有着广泛的应用。
随着以光刻工艺为代表的微纳米加工技术的发展，微米、亚微米甚至纳米量级的图案制备成为了可能。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
通过设计一维多层膜系（zns/ag/zns/ag/zns)在1.06微米实现低反射，二维层面设计调控红外光谱性能的金属-介质-金属（mim）超结构，在10.6微米实现低反射，通过一维多层膜系和二维周期性结构结合成三维复合结构，实现在1到14微米红外波段高反射，1.06微米和10.6微米低反射。
二维层面选择ag(红外波段具有较强等离激元效应)和zns（红外波段透明），设计表层金属为圆盘阵列的mim结构。
调整mim结构表层金属覆盖方式、金属介质结构参数，合理设计腔体结构，激发等离激元-亚波长微腔模式，分别通过电阻蒸发镀膜、紫外光刻等方法制备出不同的mim结构，并对其形貌、红外光谱性能（峰强、峰位、峰宽）进行表征测试。
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