1. 研究目的与意义（文献综述）
压电材料是一类非常重要的功能材料，随着材料学与物理学的的完善以及科学技术的发展，具有优异的压电性能的压电陶瓷和压电薄膜材料也不断涌现，使其成为压电惯性传感器、振荡器、滤波器、压电马达、扫描器等器件中的核心部件，微机电系统(mems)等领域的快速发展更是对压电薄膜材料与器件的需求日益增加。而目前，能够产业化的压电材料主要是铅基压电材料，因其具有优异的压电性能。但是随着pzt材料的深入应用，pzt显示出一系列缺点：较大的矫顽场以及较严重的疲劳特性，并且富含对环境有害的pb元素。在电子器件的尺寸日益小型化的同时，对电性能的要求越来越高，同时对环境污染也越来越重视，研究者们开始关注无铅钙钛矿材料。batio3基材料、铋层状结构陶瓷，钨青铜结构的铌酸盐等无铅压电陶瓷被广泛研究，但是相比pzt压电常数(d33≈600pc/n)，它们的压电常数仍然很小(d33≤300pc/n)。
2. 研究的基本内容与方案
2.1.基本内容及目标
本实验的基本内容是以醋酸钡、醋酸钙、正丙醇锆、乙酸、钛酸四正丁酯和乙二醇甲醚为主要原料，先制备出钛酸钡溶胶，通过旋涂法在（111）pt/tio2/sio2/si(100)基片上制备bzt-xbct薄膜，然后进行热处理预烧与退火处理。研究不同薄膜厚度、不同的热处理温度和不同的热处理时间等工艺参数，对bzt-xbct薄膜的形貌以及电性能的影响，采用xrd对其进行物相分析，afm、sem对其进行显微形貌表征，利用铁电工作站、交流阻抗分析仪及afm对其介电、铁电及压电性能进行表征。通过研究不同薄膜厚度、不同的热处理温度和不同的热处理时间获得最佳工艺参数。
2.2. 技术方案及措施
3. 研究计划与安排
第1-3周：查阅相关文献资料，完成英文翻译。明确研究内容，了解研究所需原料、仪器和设备。确定技术方案，并完成开题报告。
第4-7周：按照设计方案，制备bzt-xbct薄膜材料。
第8-12周：利用xrd、sem、afm、铁电、介电、压电等测试手段对所制备的bzt-xbct薄膜材料进行物相、结构和性能表征。
4. 参考文献（12篇以上）
[1] a. dixit, s. b.majumder, p. s. dobal, r. s. katiyar, a. s. bhalla phase transition studies ofsol–gel deposited barium zirconate titanate thin films [j]. thin solid films(2004 ): 284–288
[2] g. q. kang, k.yao,j.wang. (1-x)ba(zr0.2ti0.8)o3-x(ba0.7ca0.3)tio3 ferroelectric thin filmsprepared from chemical solutions[j].j.am.ceram.soc. (2012): 986-991.
[3] x.y. deng, x.f.guan, p. chen, et al. ferroelectric properties study for nanocgrain bariumtitanate ceramics[j]. thin solid films. (2010): 75–77.
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