BiAlO3介质薄膜的制备与储能性能研究开题报告

全文总字数：4257字

1. 研究目的与意义（文献综述）

目的：本课题的主要目的是采用溶胶凝胶法合成二维b位掺杂对bialo₃薄膜研究退火温度、退火时间、薄膜厚度、退火方式等因素对薄膜物相结构、粒径形貌、表面性质的影响规律和作用机理。 除外采用不同组分下改善的bialo₃基薄膜材料，探究bialo₃基薄膜材料表面形貌、组分调控对铁电性能、显微结构、介电性能的影响。

意义：二十世纪八十年代，薄膜制备技术得到了突破性进展，微电子技术迅猛兴起，铁电材料及薄膜器件开始逐步走向微型化、集成化的发展道路。在这一过程中，铁电薄膜扮演了至关重要的角色。由于铁电薄膜的厚度一般在儿十纳米到儿微米的范围内，这就有利于其在半导体器件工艺等方面的应用，因此得到了相关领域科研技术人员的广泛关注。

2. 研究的基本内容与方案

2.1基本内容

1、文献调研，了解国内外相关研究概况和发展趋势，了解选题与社会、健康、安全、成本以及环境等因素的关系；

2、采用溶胶凝胶法合成b位元素掺杂bialo₃基薄膜材料，研究退火温度、退火时间、薄膜厚度、退火方式等因素对薄膜物相结构、粒径形貌、表面性质的影响规律和作用机理。

3. 研究计划与安排

第1-3周：查阅相关文献资料，完成英文翻译。明确研究内容，了解研究所需原料、仪器和设备。确定技术方案，并完成开题报告。

第4-7周：采用溶胶凝胶法合成bialo3薄膜材料，研究退火温度、退火时间、薄膜厚度、退火方式等因素对薄膜物相结构、铁电性能影响规律和作用机理，确定bialo3薄膜的较佳合成条件；

第8-12周：掺入不同组分，对bialo3薄膜材料进行储能性能改性，探究b位元素掺杂bialo3薄膜组成结构对薄膜显微结构、介电性能的影响；

4. 参考文献（12篇以上）

[1]曲远方.功能陶瓷的物理性能[m].北京:化学工业出版社,2006.

[2]关振铎,张中太,焦金生.无机材料物理性能[m].北京：清华大学出版社，2004.

[3]xiong b, hao h, zhang s, et al. structure, dielectric properties and temperature stability of batio3-bi(mg1/2ti1/2)o3 perovskite solid solutions[j]. journal of the american ceramic society, 2011,94(10):3412-3417.