1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）
文 献 综 述目前的能源生产严重依赖化石燃料，如石油、自然资源和有限的煤矿[1]，并且世界能源需求预计在未来会继续增加[2]。
太阳能作为一种取之不尽用之不竭的能源是当今最有发展潜力的清洁能源。
利用太阳能发电的光伏电池是目前最广泛使用的新能源技术之一。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
1. 掌握以rca1，rca2以及hf为主体的n型单晶硅片的表面清洗手段。
2. 以pecvd、ald或其它相关方法对硅表面进行钝化膜沉积，主要使用主流材料如a-si，alox，sinx等。
3. 选择合适的方法完成电池其他功能层的制备，形成完整光伏器件。
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