1000℃高温退火炉设计开题报告

1. 研究目的与意义（文献综述）

退火炉是冶金工业中相当重要的炉窑之一，它既是高温化学反应器，又是庞大而结构复杂的热工设备。生产过程中，退火炉的加热调节温度控制水平的高低对生产、炉体寿命及全厂主要技术指标都有直接的制约作用，因此，退火炉的炉体温度和各部位压力的测量与调节工作成为生产中重要、复杂、技术要求高的工作，不但劳动强度大，污染性高，而且还需要耗费大量的人力和物力。

所以提高退火生产的自动化水平将是解决问题的关键所在。现今，在工业化应用逐步扩展深入的进程中，退火炉加热计算机自动控制技术在稳定加热、提高耗热量、提高钢材成品质量和劳动生产率、改善操作环境以及延长退火炉寿命等方面起到了重要作用。我国近年来工业生产中虽实施了自动控制系统，但同国外比仍有明显差距，因此，计算机自动控制技术在退火炉生产中的应用，对提高退火炉管理水平、促进工业自动化等方面都具有十分重要的意义。

随着计算机技术和自动控制理论的发展，以及其工业应用的日益推广，计算机在加热方面的应用逐步得到开发。世界上许多国家如美国、日本、法国、德国等相继投入大量人力和财力致力于计算机控制系统的研究、开发和应用，技术水平和实用性能不断提高，并取得了明显的经济效益。80年代以来，我国也开展了研究工作，均取得了显著的节能效果。但与国外先进技术相比，国内计算机自动控制水平较低，还需进一步的研究和开发。

2. 研究的基本内容与方案

基本内容：设计一个应用于半导体器件退火工艺的高温退火炉，包括加热系统设计，可移动载物台设计，退火氛围气体进口和出口设计，所设计的高温退火炉最高工作温度为1000℃。

目标：完成高温退火炉总体方案设计和各个部件的机械结构，所设计和选用的部件可以实现最高工作温度为1000℃，设计出的退火炉能够通过计算机自动控制，并且能够满足数种半导体器件的退火工艺，同时要保证退火炉的安全稳定以确保退火炉能够被厂家放心使用。

拟采用的技术方案及措施：通过查阅资料了解退火炉的结构，并按照设计内容的要求以及自己的想法设计退火炉结构，并通过sordworks绘制出来。然后进一步查阅资料了解半导体器件的退火工艺，然后通过labview控制各个部件的开关以及操作，做到计算机控制退火炉。

3. 研究计划与安排

第1周~第3周：查阅高温退火炉相关资料，初步了解高温退火炉的结构以及半导体器件的退火工艺。

第4周~第5周：完成外文翻译，并开始方案设计工作。

第6周~第12周：完成结构三维设计以及零部件性能优化。

4. 参考文献（12篇以上）

【1】《基于labview的数据采集与处理技术》白云，高育鹏，胡小江 等编著，西安电子科技大学出版社，2009年

【2】《labview程序设计基础与提高》张兰勇 等编著，机械工业出版社，2013年

【3】石川 等，基于labview的数据采集与信号处理系统的设计，机械设计与制造，第5期，2009年