蓝宝石衬底的应力测试与调控开题报告

1. 研究目的与意义（文献综述）

蓝宝石的组成为氧化铝（al2o3），是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成，其晶体结构为六方晶格结构，它常被应用的切面有a-plane，c-plane及r-plane。

高质量的蓝宝石单晶广泛应用于光学和微电子领域，尤其是用作高亮度gan基发光二极管（led）的外延基片材料。目前超高亮度白/蓝光的品质取决于氮化镓磊晶（gan）的材料品质，而氮化镓磊晶品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关，蓝宝石c面与iii-v和ii-vi族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小，同时符合gan磊晶制程中耐高温的要求，使得蓝宝石镜片成为制作白/蓝绿光led 的关键材料。

led市场的迅猛发展，要求生长出大尺寸、高质量、性能稳定的蓝宝石晶体，这就对蓝宝石晶体生长技术提出了更高的要求。

2. 研究的基本内容与方案

2.1研究设计的基本内容

（1）掌握蓝宝石应力测试与调控的方法

（2）掌握建立应力应变仿真模型的方法

3. 研究计划与安排

1-2周：阅读参考文献，完成蓝宝石衬底应力测试与调控的国内外研究进展的综述, 完成开题报告；

3-4周：完成英文文献翻译及总体设计；

5-8周：确定应力测试与调控的方法并建立应力应变仿真模型；

4. 参考文献（12篇以上）

[1] 艾琳娜·r·多布文斯卡娅，莱奥尼的·a·李托维诺夫，瓦莱里安·皮斯奇克.蓝宝石材料、制造、应用.科学

出版社.2013

[2]haida,naota,htakeda,kkoyama,control of initial bow of sapphire substrates for iii-nitride epitaxy