具有内部通道的微传感器的ANSYS仿真分析开题报告

全文总字数：1657字

1. 研究目的与意义

目的：建立ANSYS仿真模型，建立利用ANSYS软件建立具有内部通道结构的MEMS微机械谐振器件的三维模型，并用有限元方法计算该类器件的动力学特性以及工作性能分析几何结构对动力学特性和能量耗散的影响。

意义：此研究有利于了解具有内部通道结构的MEMS微机械谐振器件的工作原理，有利于设计制造应用于车辆的高性能MEMS器件，同时对今后认识微型电子机械系统并应用于自己所从事的专业研究中有巨大帮助。

2. 国内外研究现状分析

国内现状：国内目前mems的工艺技术比较好的是北京大学，北京大学于1997年启动了mems研究项目计划算是比较早的起步单位，获得了一些瞩目成就，尤其是深槽蚀刻技术已经处于世界水平，但是其他技术水平较世界先进水平仍有较大差距。其次是国内其他著名高校的研究项目与实验室也有所成就。

借助九五计划项目在微细电火花加工和三维半导体加工以及深层刻蚀方面都进步显著一些项目已经达到世界先进水平。近年来在政府支持科技能力推动以及市场开放的环境下我国mems微机技术有很大的进步与发展，在一些省市建立了独立的研究院所以及实验室，但是仍与国外先进技术水平有较大差距，人才缺乏和缺少基础研究经验仍是阻碍我国在这项技术上赶超发达国家的重要因素。但是在我国不断发展的市场需求比如汽车行业生物行业等刺激下，mems技术会得到新的发展机遇。

国外研究现状：mems技术最早应用于军事领域，主要用于导航制导，姿态测量和引信等方面。

3. 研究的基本内容与计划

研究内容：

1. mems谐振器的原理及基本特征

2.带有通道的mems谐振器功能及影响因素

4. 研究创新点

利用ANSYS软件建立具有内部通道的微传感器模型，计算分析通道几何形状对系统振动特性和热弹性阻尼的影响。着眼于MEMS谐振器最基本的通道几何形状进行突破，是的改进方法易于成本降低。