微动执行机构图像测试系统设计文献综述

微动执行机构作为精密驱动与控制领域的关键部件，其性能直接影响着微纳操作、精密仪器、生物医学等领域的应用效果。

为了对微动执行机构的位移、分辨率、迟滞、蠕变等关键性能指标进行高精度、非接触式的测量，基于图像处理技术的微动执行机构测试系统应运而生。

本文首先介绍了微动执行机构和图像测试系统的相关概念，并回顾了国内外微动执行机构测试技术的发展历程，分析了传统测试方法存在的局限性。

然后，重点阐述了基于图像处理技术的微动执行机构测试系统的研究现状，包括系统构成、关键技术、典型应用等方面，并对不同图像处理算法的优缺点进行了比较分析。

最后，展望了微动执行机构图像测试系统未来的发展趋势，例如：三维运动测量、动态性能测试、智能化测试等，为该领域的研究提供参考。

关键词：微动执行机构；图像测试系统；亚像素定位；视觉伺服；运动控制

随着微纳技术、精密制造等领域的快速发展，对微小尺度运动的控制精度要求越来越高，微动执行机构作为一种能够实现微纳米级别运动的精密驱动装置，得到了广泛的应用[1]。

微动执行机构通常由驱动单元、传动机构、位移传感器等部分组成，其性能指标主要包括：分辨率、精度、重复性、迟滞、蠕变、动态响应特性等。

为了保证微动执行机构的性能和可靠性，对其进行高精度的测试和标定至关重要[2]。

传统的微动执行机构测试方法主要有：电容式传感器、激光干涉仪、光栅尺等。