微位移检测系统的设计开题报告

全文总字数：2091字

1. 研究目的与意义

位移是工程检测中最常见、最重要的量之一，因为位移测量是各种物理量测量的基础，通过测量位移可以间接测出压力、应力、容量、速度、加速度、温度、流量等量的大小。

位移检测技术就是把被测的位移量转换成与之有确定对应关系的电量或其它可测量量的检测方法。

随着工业的发展，工艺愈来愈精密，对微小位移测量越来越多，一系列的位移测量问题不断涌现。

2. 国内外研究现状分析

在国外，对利用微位移检测系统的研究早已开始，而且相关的产品已经面世。

美国uN美国知名核聚变实验室）研制的加工大口径光学元件的金刚石车床（LODTM）是目前世界上能进行最高精度切削加工的车床，其所用的快速刀具伺服机构采用了PZT（锆钛酸铅压电陶瓷），能在1.27um范内分辨率达到2.5nm，频率响应可达至U100Hz；日本日立制作所采用柔性支承导轨、压电晶体驱动方式的微位移机构的位移精度为0.05um，行程为8m，该机构己成功应用于电子束曝光机.我国在此领域也属于世界先进水平，中国国防科技大学采用柔性支承导轨、电致伸缩驱动方式的微位移机构的分辨率为0.1um，行程为20um。

3. 研究的基本内容与计划

首先选择适合用于微小位移测量的传感器，再应用单片机技术构建微小位移检测系统。利用proteus完成电路原理图，单片机编程采用keil c语言，自行完成系统的制作，实现预期功能。

1、准备工作（第1周）

2、撰写开题报告（第2周第3周）

4. 研究创新点

利用非接触测量方法构成的检测系统结构简单，测量精度高，能够精确测量软质材料的高精度表面，测量结果受环境因素影响很小。